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半导体晶体管是一种具有特定电子特性的部件，可作为微芯片和现代电子产品（如手机、笔记本电脑等）的组件。由于这些元件体积小，需要精确的制造方法，因此有专门的设施来制造它们。这些设施由多个层面组成，包括空气处理器（AHU）和排气洗涤器（Scrubber）、高效空气过滤室（HEPA Room）、晶圆厂洁净室（Fab Cleanroom）和 厂务 区域（Subfab）。设施内的压力、流量和温度的实时控制对成品质量和良率至关重要。
半导体厂务区域又称为次洁净区，位于晶圆厂洁净室的正下方。这里有一系列辅助设备，如真空泵、减排系统、冷却器、气柜和其他设备，以保证工艺工具的高效运行。厂务区域内的设备与晶圆厂洁净室内的半导体生产设备相互连接；这些独立但相互连接的区域共同确保设备顺利运行。
