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半导体晶体管是一种具有特定电子特性的部件，可作为微芯片和现代电子产品（如手机、笔记本电脑等）的组件。由于这些元件体积小，需要精确的制造方法，因此有专门的设施来制造它们。
这些设施由多个层面组成，包括用于空气处理器（AHU）和排气洗涤器（Scrubber）、高效空气过滤室（HEPA Room）、晶圆厂洁净室（Fab Cleanroom）和厂务区域（Subfab）。设施内的压力、流量和温度的实时控制对成品质量和良率至关重要。
HEPA（高效空气微粒过滤室）/ULPA（超高效空气微粒过滤/超低穿透率空气微粒过滤）室位于半导体洁净室的上方空间。该区域的过滤设备可去除外部环境中的微粒。HEPA和/或ULPA用于捕捉微小污染物，防止其进入工厂洁净室区域。晶圆厂内生产制造半导体器件（如微型晶体管），小到肉眼不可见的粉尘或者液滴，都有可能破坏这些晶体管，因此洁净室必须没有微粒，选择合适的过滤器并提供洁净的空气是半导体制造过程中必不可少的一部分。
HEPA过滤器应用广泛，如洁净室制造或医疗隔离室。它们用于消除直径为0.3微米或更大的颗粒物质。另一方面，ULPA过滤器由密度较高的材料制成，可以捕捉更小尺寸（直径为0.12微米）的微粒。由于材料的原因，ULPA过滤器通常比HEPA过滤器需要更大的功率才能使空气通过，因此使用ULPA过滤器时，气流也会减小，监控其运行状态尤为重要。
Dwyer提供一系列用于HEPA/ULPA室内的仪器，包括用于控制和监测空间的压力、气流、温度和湿度的仪器。
